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宋娇阳 (宋娇阳.) | 冯胜飞 (冯胜飞.) | 张新平 (张新平.) (学者:张新平) | 刘红梅 (刘红梅.) | 宋晏蓉 (宋晏蓉.) (学者:宋晏蓉)

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摘要:

利用干涉光刻技术制备了波导耦合纳米光栅结构,系统研究了其波导共振模式的角分辨调谐特性及其对光栅参数、入射光偏振特性的依赖关系,并作了相应的理论模拟.特别研究了光栅周期和厚度对波导共振模式角分辨调谐速率的影响.实验结果对于器件进一步应用于滤波、生物传感技术具有重要的指导意义.

关键词:

干涉光刻 波导耦合光栅 角分辨 调谐速率

作者机构:

  • [ 1 ] [宋娇阳]北京工业大学
  • [ 2 ] [冯胜飞]北京工业大学
  • [ 3 ] [张新平]北京工业大学
  • [ 4 ] [刘红梅]北京工业大学
  • [ 5 ] [宋晏蓉]北京工业大学

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来源 :

物理学报

ISSN: 1000-3290

年份: 2009

期: 9

卷: 58

页码: 6542-6548

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