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王如志 (王如志.) (学者:王如志) | 王波 (王波.) (学者:王波) | 严辉 (严辉.)

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摘要:

场致电子发射(场发射)薄膜材料由于在场发射平板显示器、电子源等诸多高性能真空微电子器件上具有广阔的应用前景,引起了人们广泛的关注与研究兴趣.综述了场发射薄膜材料的理论与实验研究进展,并评述了场致电子发射薄膜材料研究的瓶颈问题及未来发展方向与趋势.

关键词:

纳米薄膜 场发射 薄膜材料

作者机构:

  • [ 1 ] [王如志]北京工业大学
  • [ 2 ] [王波]北京工业大学
  • [ 3 ] [严辉]北京工业大学

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来源 :

中国材料进展

ISSN: 1674-3962

年份: 2009

期: 3

卷: 28

页码: 6-12

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