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段毅 (段毅.) | 马卫东 (马卫东.) | 吕长志 (吕长志.) | 李志国 (李志国.)

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摘要:

对功率肖特基二极管(SBD)施加恒定电应力、序进温度应力进行退化实验,考察了反向漏电流IR、理想因子n、势垒高度ΦB以及串联电阻RS等参数的退化情况。可以看出,在退化的过程中,SBD的IR增加较快,n逐渐减小,ΦB逐渐增大,而RS则缓慢增加。综合考察这些退化曲线,采用退化最为明显的IR作为失效判据。基于IR参数退化曲线,使用恒定电应力温度斜坡法(CETRM)模型,推导出该功率肖特基二极管的寿命约为4.3×107h,测试结果与实际预测相符。

关键词:

理想因子 势垒高度 恒定电应力温度斜坡法 退化试验 肖特基二极管

作者机构:

  • [ 1 ] 北京工业大学电子信息与控制工程学院微电子可靠性研究室

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来源 :

半导体技术

年份: 2009

期: 01

卷: 34

页码: 92-95

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