高级检索
检索提示：高级检索多个条件检索时是按照顺序运算的：如 A或B与C 即:(A或B)与C
[期刊论文]
快速热退火对电子束蒸镀的ITO膜光电特性影响
作者：
收录：
摘要：
用真空电子束蒸镀的方法制备半导体发光二极管LED所用的ITO膜,然后在N2气环境中进行快速热退火(RTA)处理,对ITO膜的各项特性进行测试分析.结果表明,ITO的电阻率并不随RTA温度上升单调下降,而是在达到一个峰值后下降,在不超过240 s时间内,ITO电阻率随RTA时间的增加而单调降低,霍尔测试结果表明影响电阻率的主要原因是载流子的迁移率.RTA处理对ITO膜的光透过率有一定的改善作用,并且使膜的折射率上升.
关键词：
作者机构：
通讯作者信息：
电子邮件地址：
相关关键词：
相关文章：
2015，农家科技（下旬刊）
2016，中国物理学会2016年秋季会议
2008，第十五届全国分子光谱学术报告会
来源 ：
光电子·激光
ISSN： 1005-0086
年份： 2009
期： 3
卷： 20
页码： 346-349
被引次数：
WoS核心集被引频次： 0
SCOPUS被引频次：
ESI高被引论文在榜： 0 展开所有
万方被引频次： 4
中文被引频次：
近30日浏览量： 4
归属院系：
全文获取
外部链接：
