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李建军 (李建军.) | 宋小伟 (宋小伟.) | 蒋文静 (蒋文静.) | 沈光地 (沈光地.)

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摘要:

给出了用蒙特卡罗射线追踪法模拟发光二极管(LED)光提取效率的过程,并对表面织构LED的光提取效率进行了模拟分析,得到存在一组优化的表面织构参数,可使LED的光提取效率提高36%.通过湿法腐蚀和干法刻蚀相结合工艺,制备了表面织构的红光LED,器件的轴向光强提高了20.6%.理论和实验结果,表明表面织构技术是提高LED光提取效率的一个主要途径.

关键词:

光提取效率 发光二极管 射线追踪法 表面织构

作者机构:

  • [ 1 ] [李建军]北京工业大学
  • [ 2 ] [宋小伟]北京工业大学
  • [ 3 ] [蒋文静]北京工业大学
  • [ 4 ] [沈光地]北京工业大学

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来源 :

固体电子学研究与进展

ISSN: 1000-3819

年份: 2009

期: 2

卷: 29

页码: 237-240

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