A　thermo-electric　3-D　analysis　of　980　nm　vertical　cavity　surface　emitting　laser　(VCSEL)　arrays　based　on　the　finite　element　method　(FEM)　is　presented　in　this　paper.　High　performance　VCSEL　array　structures　with　square　mesas　are　modeled　by　applying　a　steady-state　3-D　heat　dissipation　model.　Several　oxide　aperture　diameters　(D-a),　substrate　thicknesses,　current　densities,　array　sizes,　heat　flux,　and　temperature　profiles　are　considered.　The　analysis　shows　that　the　maximum　internal　temperature　of　a　VCSEL　array　ranges　from　306.5　K　for　a　20　mu　m　D-a,　100　mu　m　substrate　thickness,　666　A/cm(2)　current　density,　and　a　1　x　1　array　size　to　412　K　for　a　5　mu　m　D-a,　300　mu　m　substrate　thickness,　1200　A/cm(2)　current　density,　and　a　4　x　4　array　size.　(C)　2010　Elsevier　Ltd.　All　rights　reserved.