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Si/Ge复合纳米结构的制备及表征
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以Si和GeO_2为原料,通过简单直接的热蒸发法在衬底的不同温度区域上得到了章鱼状、羽毛球状、拖把状等不同形貌的Si/Ge/O复合纳米结构.利用扫描电镜(SEM)研究了不同衬底区域纳米结构的形态,结合透射电镜(TEM)的明场像和扫描透射(STEM)模式下能谱的面扫描,系统地研究了不同形貌纳米结构的成分分布,并对生长过程进行了探讨.
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来源 ：
电子显微学报
ISSN： 1000-6281
年份： 2009
期： 5
卷： 28
页码： 478-483
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