介绍了一种新型电子冷却系统—离子拖曳电液动力微泵,运用MEMS技术在硅片上加工了离子拖曳微泵并进行了测试,微泵由一组平面电极组成,电极的宽度为40μm,发射极和集电极之间的间距为50μm,共有90对电极对,每组电极对之间的距离为100μm。微泵静压力实验以HFE7100和无水乙醇作工作流体,通过施加直流电压来驱动工作流体,当输入电压为200　V时,微泵可以得到250　Pa的静压力。实验结果表明:微泵的静压力与施加的输入电压成二次方关系,同微流道的高度成反比。实验发现工作介质的物性参数也是决定泵性能的一个重要因素,选择合适的流体可以提高整个微泵冷却系统的性能。研究还表明,微泵的性能与工作寿命和实...