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摘要:
现代制造业的发展,对表面精密加工提出了更高的要求,作为制造业的重要工艺手段--抛光工艺,不仅影响着产品的使用性能而且也影响着产品的档次.随着产品结构设计的复杂化和产品组合形式的多样化,抛光工艺的应用也越来越显著.微纳科技和精密制造的发展,尤其是非硅微机械加工,也离不开对抛光工艺的研究.而在宏观领域适用的传统抛光手段(主要是机械抛光),由于实现方式的单一化,很难扩展到微观领域.激光抛光,作为一种非接触性抛光技术,具有其他抛光工艺所不具有的特点,拥有广阔的发展前景.本文论述了激光抛光技术的特点和应用价值,综述了各国激光抛光技术的研究现状.
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