高级检索
检索提示：高级检索多个条件检索时是按照顺序运算的：如 A或B与C 即:(A或B)与C
[期刊论文]
多弧离子镀TiN/Cu纳米复合多层膜致硬机理的探讨
作者：
收录：
摘要：
采用多弧离子镀技术制备单一的TiN薄膜和TiN/Cu纳米复合多层膜,研究了复合膜的硬度变化及相组成.初步探讨了TiN/Cu纳米复合多层膜的致硬机理.实验结果表明,Cu元素的掺人阻碍了TiN的生长,使复合膜硬度有了显著提高,制得硬度高达51GPa的TiN/Cu复合多层膜,其TiN以(111)和(200)两个晶面择优生长,且衍射峰强度极为接近,(200)面略高于(111)面.
关键词：
作者机构：
通讯作者信息：
电子邮件地址：
相关关键词：
相关文章：
2008，金属热处理
2008，2008年中国机械工程学会年会暨甘肃省学术年会
2008，第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛
2009，热处理
来源 ：
热加工工艺
ISSN： 1001-3814
年份： 2008
期： 8
卷： 37
页码： 15-17,21
被引次数：
WoS核心集被引频次： 0
SCOPUS被引频次：
ESI高被引论文在榜： 0 展开所有
万方被引频次： 15
中文被引频次：
近30日浏览量： 3
归属院系：
全文获取
外部链接：
