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邓金祥 (邓金祥.) (学者:邓金祥) | 王瑶 (王瑶.) | 张晓康 (张晓康.) | 周涛 (周涛.) | 汪旭洋 (汪旭洋.) | 姚倩 (姚倩.) | 陈光华 (陈光华.)

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摘要:

用磁控溅射法制备六角氮化硼薄膜,在衬底温度、衬底偏压、工作气压等条件一定的情况下改变工作气体(氮气+氩气)中氮气的比例,以制备高质量的六角氮化硼薄膜,薄膜以红外吸收光谱标识.实验结果表明,工作气体中氮气的比例对制得的六角氮化硼薄膜有很大影响,在氮气比例为20%时得到理想的六角氮化硼薄膜.

关键词:

氮化硼薄膜 氮气比例 红外光谱

作者机构:

  • [ 1 ] [邓金祥]北京工业大学
  • [ 2 ] [王瑶]北京工业大学
  • [ 3 ] [张晓康]兰州大学
  • [ 4 ] [周涛]北京工业大学
  • [ 5 ] [汪旭洋]北京工业大学
  • [ 6 ] [姚倩]北京工业大学
  • [ 7 ] [陈光华]北京工业大学

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来源 :

光散射学报

ISSN: 1004-5929

年份: 2008

期: 1

卷: 20

页码: 56-59

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