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宋欣原 (宋欣原.) | 邹德恕 (邹德恕.) | 张剑铭 (张剑铭.) | 刘思南 (刘思南.) | 沈光地 (沈光地.)

收录:

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摘要:

对Al/SiO2、Al/ITO、Au/SiO2、Au/ITO构成的ODR(Omni-directional reflector)结构,对应400~800 nm的不同波长,在不同温度下,对于反光镜的反射率的影响,进行了研究.提出了在460 nm的蓝光波段,Al/SiO2金温度在500~700 K时,反射率会达到最小值,温度在700 K以上时,又到常温值,且略微增加;Al/ITO反射率是随着温度变化单调下降的,因此要在Al反光镜的表面采用Ti/Al/Ti/Au的结构,改善反光镜的特性;620 nm的红光波段,Au/SiO2和Au/ITO的合金温度在700 K时,具有最理想的反射率,且Au/SiO2结构的反射效果要优于Au/ITO结构.用实验的方式进行了验证,分析了可能造成反射率变化的原因.

关键词:

退火 全方位反光镜结构 反射率

作者机构:

  • [ 1 ] [宋欣原]北京工业大学
  • [ 2 ] [邹德恕]北京工业大学
  • [ 3 ] [张剑铭]北京工业大学
  • [ 4 ] [刘思南]北京工业大学
  • [ 5 ] [沈光地]北京工业大学

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来源 :

固体电子学研究与进展

ISSN: 1000-3819

年份: 2008

期: 3

卷: 28

页码: 396-399

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