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邓金祥 (邓金祥.) (学者:邓金祥) | 汪旭洋 (汪旭洋.) | 姚倩 (姚倩.) | 周涛 (周涛.) | 张晓康 (张晓康.)

收录:

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摘要:

用射频溅射法在P型Si(100)衬底上沉积立方氮化硼(c-BN)薄膜,薄膜的成分由傅里叶变换红外谱标识,用紫外-可见分光光度计测量了c-BN薄膜的反射光谱,利用K-K(Kramers-Kroning)关系从反射谱计算出c-BN薄膜的光吸收系数,进而确定c-BN薄膜的光学带隙.对于立方相含量为55.4%的c-BN薄膜,光学带隙为5.38 eV.

关键词:

K-K关系 光学带隙 立方氮化硼薄膜

作者机构:

  • [ 1 ] [邓金祥]北京工业大学
  • [ 2 ] [汪旭洋]北京工业大学
  • [ 3 ] [姚倩]北京工业大学
  • [ 4 ] [周涛]北京工业大学
  • [ 5 ] [张晓康]兰州大学

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来源 :

物理学报

ISSN: 1000-3290

年份: 2008

期: 10

卷: 57

页码: 6631-6635

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