高级检索
检索提示：高级检索多个条件检索时是按照顺序运算的：如 A或B与C 即:(A或B)与C
[期刊论文]
钽合金精密镜面研磨工艺的实验研究
作者：
收录：
摘要：
采用传统的精密机械研磨方法,对钽钨铪合金进行了精密研磨实验研究。通过大量实验,优化出了适合此类材料的研磨工艺,得到Ra25nm左右的光滑表面。该研磨方法成本低、污染小、操作简便。实验表明,磨料特性、研磨压力和研磨液的成分配比等参数对研磨效果的影响较大。
关键词：
作者机构：
通讯作者信息：
电子邮件地址：
相关关键词：
相关文章：
2005，半导体技术
2014，制造技术与机床
2010，金刚石与磨料磨具工程
2019，光学精密工程
来源 ：
机械设计与制造
年份： 2008
期： 06
页码： 118-119
被引次数：
WoS核心集被引频次： 0
SCOPUS被引频次：
ESI高被引论文在榜： 0 展开所有
万方被引频次：
中文被引频次：
近30日浏览量： 0
归属院系：
材料与制造学部 机械工程与应用电子技术学院
全文获取
外部链接：
