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卫斌 (卫斌.) | 吉元 (吉元.) | 王丽 (王丽.) | 张隐奇 (张隐奇.) | 张小玲 (张小玲.) | 吕长志 (吕长志.) | 张跃飞 (张跃飞.) (学者:张跃飞)

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摘要:

在扫描电镜中,采用纳米微操纵仪构成一个2探针电流-电压(I-V)测试装置。测试了单根ZnO纳米线接触钨电极构成的金属-半导体-金属(M-S-M)结的I-V特征曲线。ZnO纳米线的I-V曲线呈现出较弱的肖特基特性。研究了电子束辐照对ZnO纳米线的I-V曲线的影响。30 keV电子束辐照使ZnO纳米线的总电阻减小。计算得到ZnO纳米线的电导率σ=0.24S/cm,载流子浓度n=1.64×1016cm-3。为了对比,还测试了单根碳纤维接触钨电极的I-V特征曲线。在30 keV电子束辐照下,碳纤维的总电阻保持不变,电导率σ=22 S/cm。

关键词:

I-V曲线 ZnO纳米线 扫描电镜 电子束辐照

作者机构:

  • [ 1 ] 北京工业大学固体微结构与性能研究所
  • [ 2 ] 北京工业大学微电子可靠性研究室

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来源 :

真空科学与技术学报

年份: 2008

期: 04

页码: 303-307

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