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[期刊论文]
内置式微型电液动力泵的研究
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本文介绍了一种新型电子冷却技术-微型电液动力泵的工作原理,并且运用了MEMS技术,在硅片上加工了梳状电极形式的微型电液动力泵.采用直流电压驱动对HFE7100进行了相关实验研究,取得良好效果.
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来源 ：
工程热物理学报
ISSN： 0253-231X
年份： 2008
期： 10
卷： 29
页码： 1743-1745
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