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[期刊论文]
小量程、高灵敏度微压力传感器的优化设计
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为了提高小量程微压力传感器的灵敏度,提出了一种新结构模型,通过理论分析,发现硅膜越薄,量程越小,灵敏度越高.并对此模型进行ANSYS应力仿真,发现在小量程负荷条件下,新结构模型应力峰值约为10.7 MPa,C 型硅杯应力峰值为2.25 MPa,E 型硅杯应力峰值为2.8 MPa,通过比较可以看出,优化后的模型提高了微型压力传感器的灵敏性,验证了此模型的合理性.这种优化设计方法对小量程、高灵敏度微型压力传感器的研制具有一定的参考价值.
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来源 ：
微细加工技术
ISSN： 1003-8213
年份： 2007
期： 4
页码： 50-53,64
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