高级检索
检索提示：高级检索多个条件检索时是按照顺序运算的：如 A或B与C 即:(A或B)与C
[期刊论文]
工作气压对磁控溅射Ta2O5薄膜电学性能的影响
作者：
收录：
摘要：
信息技术的发展提出了采用高k栅介质材料替代SiO2的需要.高介电Ta2O5薄膜的研究具有很强的应用背景.但是在实际应用中,漏电流较大成为Ta2O5的一个缺点.本文研究了磁控溅射方法制备Ta2O5薄膜时工作气压对于薄膜电学性能的影响.实验制备了不同工作气压的Ta2O5薄膜,测试了样品的粗糙度和绝缘性能,并对实验结果进行了分析.
关键词：
作者机构：
通讯作者信息：
电子邮件地址：
相关关键词：
相关文章：
2007，北方工业大学学报
2011，第十四届全国磁学和磁性材料学术会议暨第二届全国磁热效应材料和磁制冷技术学术研讨会
2020，太阳能学报
2004，无机材料学报
来源 ：
河南师范大学学报（自然科学版）
ISSN： 1000-2367
年份： 2007
期： 4
卷： 35
页码： 75-78
被引次数：
WoS核心集被引频次： 0
SCOPUS被引频次：
ESI高被引论文在榜： 0 展开所有
万方被引频次： 6
中文被引频次：
近30日浏览量： 4
归属院系：
材料与制造学部 本学院/部未明确归属的数据
全文获取
外部链接：
