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谢雪松 (谢雪松.) | 吕长志 (吕长志.) | 张小玲 (张小玲.) | 李志国 (李志国.) | 冯士维 (冯士维.) (学者:冯士维)

收录:

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摘要:

用反应分子束外延(RMBE)方法在蓝宝石衬底上制备了GaN p-i-n结构,应用常规的半导体工艺制成了紫外光探测器,测试结果显示其正向导通电压为4.6 V,反向击穿电压大于40V;室温下反偏3 V时的暗电流为6.68 pA,峰值响应度0.115 A/W出现在367 nm处;400 nm处的响应度为6.59×10-5A/W,比峰值响应度低四个量级。

关键词:

GaN p-i-n结构 紫外探测器

作者机构:

  • [ 1 ] 北京工业大学电控学院可靠性物理研究室
  • [ 2 ] 北京工业大学电控学院可靠性物理研究室 北京100022
  • [ 3 ] 北京100022

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来源 :

半导体光电

年份: 2007

期: 01

页码: 33-35

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