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多层金属化系统中蓄水池效应对电迁移寿命的影响
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在W通孔的多层金属化系统中,金属离子的蓄水池效应对其电迁移寿命的影响很大,文中设计制作了12种不同的蓄水池结构,并进行了电迁移实验.着重考察蓄水池面积、通孔位置、通孔数目对互连线电迁移寿命的影响,得出蓄水池的面积是影响电迁移寿命的主要因素.
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来源 ：
半导体学报
ISSN： 0253-4177
年份： 2007
期： z1
卷： 28
页码： 452-456
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