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[期刊论文]
靶材钎焊连接质量的超声成像检测技术
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采用超声成像方法对微电子器件镀膜靶材钎焊质量进行检测,获得其A扫描和C扫描图像.根据扫描图像判断缺陷的大小、种类及位置,并通过断面金相分析进行验证.试验表明,超声成像检测方法能够高效、快速、全面地反映出钎焊界面的接合状态及内部缺陷,是一种较好的检测钎焊靶材连接质量的无损检测方法.
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来源 ：
无损检测
ISSN： 1000-6656
年份： 2007
期： 5
卷： 29
页码： 244-246
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