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王丽 (王丽.) | 付景永 (付景永.) | 吉元 (吉元.) | 张隐奇 (张隐奇.) | 徐学东 (徐学东.) | 钱鹏翔 (钱鹏翔.)

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摘要:

在环境扫描电镜(ESEM)中配置加热台,对Al2O3样品进行加热实验.结果表明,Al2O3表面的荷电效应随温度的稳定升高而逐渐减小.当温度上升至~360 ℃时,荷电效应完全消除,得到清晰的二次电子(SE)像.在加热过程中,Al2O3样品的吸收电流(Ia)值不断提高,在~360 ℃时达到2.67×10-7 A.这个值相当于Al样品台的Ia值,表明加热可增加Al2O3表面的导电率.此外,在高真空环境中通过加热消除荷电后,得到的Al2O3样品的SE像衬度优于通常在低真空环境中通过电子-离子中和作用得到的图像衬度.

关键词:

Al2O3 加热 环境扫描电镜(ESEM) 荷电效应

作者机构:

  • [ 1 ] [王丽]北京工业大学
  • [ 2 ] [付景永]北京工业大学
  • [ 3 ] [吉元]北京工业大学
  • [ 4 ] [张隐奇]北京工业大学
  • [ 5 ] [徐学东]北京工业大学
  • [ 6 ] [钱鹏翔]中国科学院上海硅酸盐研究所

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来源 :

真空科学与技术学报

ISSN: 1672-7126

年份: 2007

期: 6

卷: 27

页码: 531-534

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