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Mg预处理蓝宝石衬底法制备的Zn极性ZnO外延薄膜的结构研究
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通过分子束外延法在经Mg预处理的蓝宝石衬底上制备了ZnO单晶薄膜,利用高分辨透射电镜、电子全息和X射线能谱对该薄膜的结构进行了细致的研究.结果表明,在蓝宝石衬底上预沉积一层很薄的Mg层,可以生长均匀Zn极性的ZnO外延薄膜.ZnO/MgO/蓝宝石的界面非常清晰锐利,同时在界面处可以观察到大约3个原子层的MgO.预沉积的Mg薄层对随后ZnO的极性选择起了关键性作用.
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来源 ：
电子显微学报
ISSN： 1000-6281
年份： 2007
期： 5
卷： 26
页码： 405-410
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