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[期刊论文]
激光微技术的发展现状
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介绍了激光微加工技术的特点,与其它微加工技术相比,激光微加工具有非接触、有选择性加工、热影响区域小、高精度与高重复率等优点,既可以通过去除方式,也可以通过材料堆积进行微加工成型.综述了几种常用的激光微加工技术及其发展趋势,微机电系统(MEMS)技术的进一步成熟,必将带动激光微技术快速发展.
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来源 ：
激光与光电子学进展
ISSN： 1006-4125
年份： 2006
期： 9
卷： 43
页码： 25-29
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