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[期刊论文]
利用光波导进行准分子激光打孔的加工系统研究
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分析了现有准分子激光打孔系统的优缺点,研究了对经过光波导的光束进行掩模打孔的一套加工系统.对光波导的制作进行了分析,并进行了一系列实验,文中给出了试验结果和分析.
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来源 ：
激光杂志
ISSN： 0253-2743
年份： 2006
期： 3
卷： 27
页码： 69-70
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