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提高准分子激光打孔质量的方法研究
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为了提高准分子激光打孔质量,分析了影响现行加工系统打孔质量的因素,在此基础上提出利用钻孔法改进打孔效果的解决方案.根据此方案设计了加工光路,进行了微孔加工实验.实验结果表明,采用248 nm准分子激光加工有机材料聚甲基丙烯酸甲酯,微孔形状规则,孔径锥度可减小至0.055.该加工系统和方法提高了微孔加工的速度和质量,在微加工领域具有很好的实际应用价值.
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来源 ：
激光技术
ISSN： 1001-3806
年份： 2006
期： 6
卷： 30
页码： 625-627
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