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李建军 (李建军.) | 韩军 (韩军.) | 邓军 (邓军.) | 邹德恕 (邹德恕.) | 沈光地 (沈光地.)

收录:

PKU CSCD

摘要:

以Al0.3Ga07As/InAlGaAs/Al03Ga07As压应变量子阱代替传统的无应变量子阱作为有源区,实现降低808 nm半导体激光器的阈值电流,并提高器件的效率.首先优化设计了器件结构,并利用金属有机物化学气相淀积(MOCVD)进行了器件的外延生长.通过优化外延生长条件,保证了5.08 cm片内的量子阱(QW)光致发光(PL)光谱峰值波长均匀性达0.1%.对于条宽为50 μm,腔长为750 μm的器件,经镀膜后的阈值电流为81mA,斜率效率为1.22 W/A,功率转换效率达53.7%.变腔长实验得到器件的腔损耗仅为2 cm-1,内量子效率达90%.结果表明,压应变量子阱半导体激光器具有更优异的特性.

关键词:

InAlGaAs量子阱 激光器 金属有机物化学气相淀积

作者机构:

  • [ 1 ] [李建军]北京工业大学
  • [ 2 ] [韩军]北京工业大学
  • [ 3 ] [邓军]北京工业大学
  • [ 4 ] [邹德恕]北京工业大学
  • [ 5 ] [沈光地]北京工业大学

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来源 :

中国激光

ISSN: 0258-7025

年份: 2006

期: 9

卷: 33

页码: 1159-1162

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