高级检索
检索提示：高级检索多个条件检索时是按照顺序运算的：如 A或B与C 即:(A或B)与C
[期刊论文]
局域铂掺杂寿命控制快恢复二极管的研究
作者：
收录：
摘要：
利用质子辐照感生的局域高浓度空位缺陷对样品表面层预生成的铂硅合金中的铂原子进行汲取,形成与感生缺陷分布相似的局域铂分布,首次实现了具有局域铂掺杂的快恢复二极管中的局域寿命控制技术.报告了改变质子注入剂量对二极管反向恢复时间和反向漏电流等参数的影响.结果表明,当辐照剂量较低时,随着辐照剂量的增加,电活性铂浓度不断提高,器件性能不断优化.而辐照剂量增加到一定程度,有效区电活性铂杂质的浓度会趋向饱和,二极管反向恢复时间基本上不再继续减小.
关键词：
作者机构：
通讯作者信息：
电子邮件地址：
相关关键词：
相关文章：
2006，2006中国电工技术学会电力电子学会第十届学术年会
2012，电力电子技术
2009，
2014，中国电工技术学会电力电子学会第十四届学术年会
来源 ：
半导体技术
ISSN： 1003-353X
年份： 2006
期： 7
卷： 31
页码： 489-492
被引次数：
WoS核心集被引频次： 0
SCOPUS被引频次：
ESI高被引论文在榜： 0 展开所有
万方被引频次： 10
中文被引频次：
近30日浏览量： 2
归属院系：
全文获取
外部链接：
