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化学气相沉积法制取异型钨制品研究
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采用化学气相沉积的方法,以WF6和H2为原料,通过气相反应成功地沉积出多种异型致密钨制品。实验结果表明:沉积层显微组织呈柱晶沿(200)晶面择向生长,具有高纯度(＞99.8%),高致密度(＞19.2 g/cm3),沉积速度可达2~3 mm/h.采用化学气相沉积法制备钨制品,设备简单,工艺稳定可靠,且制品质量较高,特别适合于异型制品的制备,是一种具有广泛应用前景的钨制品制备方法。
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来源 ：
兵工学报
年份： 2006
期： 02
页码： 315-319
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材料与制造学部 材料科学与工程学院
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