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[期刊论文]
键合技术在微机械Golay-cell红外探测器中的应用
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介绍多种硅片键合技术及其在基于高莱盒(Golay-cell)原理的微机械红外探测器中的应用.对多种键合方法在该器件中的实验结果进行比较,确定了现阶段最优的键合方法,即采用局部电场屏蔽方法的阳极键合方法,键合成功率在90%以上,并初步实现了器件的标准化制作.
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来源 ：
仪器仪表学报
ISSN： 0254-3087
年份： 2006
期： 8
卷： 27
页码： 936-939
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