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应力对硅悬空薄膜的机械灵敏度的影响
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运用四周固支薄板小挠度理论,分析了存在较大残余应力的浓硼重掺杂硅悬空薄膜的力学特性.给出了小挠度下,在外界载荷作用下总应力表达式和薄膜机械灵敏度表达式,并分析了残余应力对二者的影响.研究表明,对存在较大残余应力的硅薄膜,总应力和机械灵敏度主要由残余应力决定,其中机械灵敏度较忽略残余应力时的值减小三个数量级.
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来源 ：
传感技术学报
ISSN： 1004-1699
年份： 2006
期： 5
卷： 19
页码： 1852-1854
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