高级检索
检索提示：高级检索多个条件检索时是按照顺序运算的：如 A或B与C 即:(A或B)与C
[期刊论文]
应力对硅悬空薄膜的机械灵敏度的影响
作者：
收录：
摘要：
运用四周固支薄板小挠度理论,分析了存在较大残余应力的浓硼重掺杂硅悬空薄膜的力学特性.给出了小挠度下,在外界载荷作用下总应力表达式和薄膜机械灵敏度表达式,并分析了残余应力对二者的影响.研究表明,对存在较大残余应力的硅薄膜,总应力和机械灵敏度主要由残余应力决定,其中机械灵敏度较忽略残余应力时的值减小三个数量级.
关键词：
作者机构：
通讯作者信息：
电子邮件地址：
相关关键词：
相关文章：
2017，人工晶体学报
2005，武汉理工大学学报
2020，北京力学会第26届学术年会
2020，实验技术与管理
来源 ：
传感技术学报
ISSN： 1004-1699
年份： 2006
期： 5
卷： 19
页码： 1852-1854
被引次数：
WoS核心集被引频次： 0
SCOPUS被引频次：
ESI高被引论文在榜： 0 展开所有
万方被引频次： 2
中文被引频次：
近30日浏览量： 2
归属院系：
信息学部
全文获取
外部链接：
