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[期刊论文]
大宽厚比悬空薄膜的制备与性能分析研究
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研究了MEMS中的悬空薄膜制备技术.用浓硼扩散自终止腐蚀法和PECVD淀积法分别进行了试验,得到了宽厚比为3000∶1的悬空浓硼Si薄膜和宽厚比为9 000∶1的SiNx薄膜.对它们的力学特性进行了分析,用纳米硬度计测量了薄膜的杨氏模量.比较了两种方法的优劣.
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来源 ：
传感技术学报
ISSN： 1004-1699
年份： 2006
期： 5
卷： 19
页码： 1391-1394
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