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王芦燕 (王芦燕.) | 王从曾 (王从曾.) | 马捷 (马捷.) | 侯艳艳 (侯艳艳.)

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摘要:

以ReF6、WF6及H2为原料,用化学气相沉积法,成功地在铜基体表面沉积出钨铼合金.试验分析表明:合金成分均匀,且可由反应气体配比控制,随ReF6增加,合金中铼含量增加;沉积层组织和形貌随沉积温度升高或反应气体中ReF6的增加,由致密的柱状晶发展为杂乱的树枝晶;沉积层结构随ReF6的增加由单一固溶体向固溶体+金属间化合物+铼单质发展.

关键词:

化学气相沉积 工艺 钨铼合金

作者机构:

  • [ 1 ] [王芦燕]北京工业大学
  • [ 2 ] [王从曾]北京工业大学
  • [ 3 ] [马捷]北京工业大学
  • [ 4 ] [侯艳艳]北京工业大学

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来源 :

中国表面工程

ISSN: 1007-9289

年份: 2006

期: 6

卷: 19

页码: 39-42

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