• 综合
  • 标题
  • 关键词
  • 摘要
  • 学者
  • 期刊-刊名
  • 期刊-ISSN
  • 会议名称
搜索

作者:

宇慧平 (宇慧平.) | 隋允康 (隋允康.) | 王敬 (王敬.) | 安国平 (安国平.)

收录:

CQVIP PKU CSCD

摘要:

在直拉单晶硅生长的过程中,自然对流对晶体界面的形状、温度场及应力分布影响很大.本文采用二维模型对熔体内自然对流对单晶硅的影响作了数值模拟,在低雷诺数时采用层流模型,高雷诺数时采用紊流模型,Gr的变化范围从3×106到3×1010,这样涵盖了从小尺寸到大尺寸的直拉单晶硅生长系统.数值结果表明熔体的流动状态不仅与熔体的Gr有关,还与熔体高度和坩埚半径的比值密切相关.当Gr>108时,熔体内确实存在紊流现象,层流模型不再适合, 随着Gr的增大,紊流现象加剧,轴心处的等温线变得更为陡峭,不利于晶体生长.

关键词:

数值模拟 直拉单晶硅 自然对流

作者机构:

  • [ 1 ] [宇慧平]北京工业大学
  • [ 2 ] [隋允康]北京工业大学
  • [ 3 ] [王敬]北京有色金属研究总院
  • [ 4 ] [安国平]北京工业大学

通讯作者信息:

电子邮件地址:

查看成果更多字段

相关关键词:

来源 :

人工晶体学报

ISSN: 1000-985X

年份: 2006

期: 4

卷: 35

页码: 696-701,695

被引次数:

WoS核心集被引频次: 0

SCOPUS被引频次:

ESI高被引论文在榜: 0 展开所有

万方被引频次: 7

中文被引频次:

近30日浏览量: 1

归属院系:

在线人数/总访问数:1453/2986834
地址:北京工业大学图书馆(北京市朝阳区平乐园100号 邮编:100124) 联系我们:010-67392185
版权所有:北京工业大学图书馆 站点建设与维护:北京爱琴海乐之技术有限公司