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离子轰击碳膜凸起形成碳纳米尖端的理论分析
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用CH4、NH3和H2为反应气体,利用等离子体增强热丝化学气相沉积系统在沉积有碳膜的Si上制备了碳纳米尖端.用原子力显微镜表征了碳膜,结果表明碳膜是凸凹不平的膜,有许多凸起.在生长碳纳米尖端的过程中,由于既有含碳离子在凸起上的沉积,又有氢离子和含氮离子对凸起的刻蚀,根据有关离子沉积和溅射刻蚀的理论,理论分析了离子轰击碳膜凸起碳纳米尖端的形成.
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来源 ：
河南师范大学学报（自然科学版）
ISSN： 1000-2367
年份： 2006
期： 4
卷： 34
页码： 203-208
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