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电子束蒸发Ar离子辅助沉积Si光学薄膜的特性
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对用常规电子束蒸发和Ar离子辅助沉积所得的非晶硅光学薄膜的光学常数、表面形貌、热稳定性和湿度稳定性等进行了研究.结果发现Ar离子辅助沉积所得非晶硅光学薄膜的折射率大大提高,表面粗糙度明显降低,湿度稳定性和热稳定性也得到较大改善,但是光学带隙变窄,光学吸收增加.
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来源 ：
半导体光电
ISSN： 1001-5868
年份： 2006
期： 6
卷： 27
页码： 740-741,787
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