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曹玉莲 (曹玉莲.) | 廉鹏 (廉鹏.) | 王青 (王青.) | 吴旭明 (吴旭明.) | 何国荣 (何国荣.) | 曹青 (曹青.) | 宋国峰 (宋国峰.) | 陈良惠 (陈良惠.)

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摘要:

采用MOCVD生长了InGaAsP/InGaP/AlGaAs材料系分别限制异质结构(SCH) 的高功率半导体激光器.对于厚度为10nm 的单量子阱,通过计算量子阱增益谱优化了器件的激射波长. 在室温下外延材料的荧光峰值波长为764nm,由于In原子的记忆效应(In carry-over effect)和As/P的替换作用使材料的InGaP/AlGaAs界面不陡峭,通过在InGaP/AlGaAs间长一层5nm的GaAsP大大改善了界面质量. 器件的阈值电流从界面改善前的560mA 减小到改善后的450mA, 斜率效率也从0.61W/A提高到了0.7W/A, 特别是单面最大输出功率已经从370mW 增加到了940mW,发生灾变性光学损伤时的工作电流已经由原来的1100mA 上升为1820mA.

关键词:

增益 界面 InGaP/AlGaAs 阈值电流 激光器

作者机构:

  • [ 1 ] [曹玉莲]中国科学院半导体研究所
  • [ 2 ] [廉鹏]北京工业大学
  • [ 3 ] [王青]中国科学院半导体研究所
  • [ 4 ] [吴旭明]中国科学院半导体研究所
  • [ 5 ] [何国荣]中国科学院半导体研究所
  • [ 6 ] [曹青]中国科学院半导体研究所
  • [ 7 ] [宋国峰]中国科学院半导体研究所
  • [ 8 ] [陈良惠]中国科学院半导体研究所

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来源 :

半导体学报

ISSN: 0253-4177

年份: 2006

期: 9

卷: 27

页码: 1621-1624

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