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[期刊论文]
激光沉积制备富镧镧氧薄膜
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利用脉冲激光沉积装置在钼筒上沉积镧氧膜,通过俄歇能谱仪确定其表面成分并进行定量分析,结合离子刻蚀对薄膜进行剖面分析,实验结果表明,除去薄膜表面少许C,O吸附外,本制备方法污染小,定量分析证明薄膜为富镧的镧氧薄膜.
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来源 ：
广西物理
ISSN： 1003-7551
年份： 2006
期： 2
卷： 27
页码： 18-20
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