高级检索
检索提示：高级检索多个条件检索时是按照顺序运算的：如 A或B与C 即:(A或B)与C
[期刊论文]
影响碳纳米管生长与结构的参数研究
作者：
收录：
摘要：
采用负偏压增强热丝化学气相沉积(CVD)方法,在沉积有MFe催化剂层及Ta或Ti过渡层的Si衬底上,通过改变沉积条件制备出不同结构的碳纳米管.扫描电子显微镜的研究结果表明,当过渡层为Ta时,碳纳米管的生长速度比Ti过渡层的大;在沉积过程中,有或无辉光放电时,生长出的碳纳米管分别是定向和弯曲的;同时还观察到随着反应气体中NH3浓度的加大,碳纳米管的生长速度会随之增大.
关键词：
作者机构：
通讯作者信息：
电子邮件地址：
相关关键词：
相关文章：
2003，真空科学与技术
2003，真空科学与技术学报
2004，功能材料
2004，第五届中国功能材料及其应用学术会议
来源 ：
微细加工技术
ISSN： 1003-8213
年份： 2005
期： 1
页码： 67-70
被引次数：
WoS核心集被引频次： 0
SCOPUS被引频次：
ESI高被引论文在榜： 0 展开所有
万方被引频次： 4
中文被引频次：
近30日浏览量： 1
归属院系：
材料与制造学部 本学院/部未明确归属的数据
全文获取
外部链接：
