对低温等离子体法去除苯和甲苯废气的性能进行了探讨,在理论分析的基础上进行实验研究.低温等离子体法去除苯和甲苯的机理是放电反应产生的高能电子与苯和甲苯分子发生非弹性碰撞并将能量全部或部分传递给目标分子,使其裂解、激化.被裂解、激化的分子与臭氧、活性基团发生一系列物理、化学反应后生成二氧化碳、一氧化碳和水.实验结果表明,苯和甲苯的去除率随着电场强度的增强而增大,随着气体流速的增大而减小.在较高电场强度下,有钛酸钡填料的反应器比无填料的反应器对苯和甲苯的去除率高得多,苯最高去除率可达92.6%,甲苯可达到96.8%.相同条件下甲苯比苯更容易去除.