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为了充分了解Slab CO2激光器的光束质量,采用LASERSCOPE UFF100光束光斑质量检测仪对Slab CO2激光器的光束质量进行了全面的测量研究.从激光束通过飞行光学导光系统(flying optics)前后的光束质量测量、聚焦后光斑的质量测量以及焦点漂移4个方面全面考察了Slab CO2激光器的光束质量.测量结果表明:Slab CO2激光器的光束质量因子M2约为1.1,光束横截面的强度分布接近基模高斯分布;激光束经过长距离的导光系统传输后仍能保持光束横截面的强度分布,采用焦距为190.5 mm的聚焦镜,聚焦光斑的半径约83μm;在工作范围内(x:0～3m)的焦点漂移量约为1 mm.
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