高级检索
检索提示：高级检索多个条件检索时是按照顺序运算的：如 A或B与C 即:(A或B)与C
[期刊论文]
磁控反应溅射制备择优取向氮化铝薄膜
作者：
收录：
摘要：
以氮气为反应气体,采用磁控反应溅射方法制备了择优取向的氮化铝薄膜.通过XRD测试发现,靶基距、溅射气压影响薄膜的择优取向:大的靶基距及高的溅射气压利于(100)面择优取向,小的靶基距和低的溅射气压利于(002)面择优取向.通过对沉积速率的分析发现,高的沉积速率利于(002)面择优取向,低的沉积速率利于(100)面择优取向.研究结果表明:沉积速率影响了核在衬底表面的生长方向,从而影响了各晶面的生长速度,最终决定薄膜的择优取向.
关键词：
作者机构：
通讯作者信息：
电子邮件地址：
相关关键词：
相关文章：
2001，第四届中国功能材料及其应用学术会议
2004，第五届中国功能材料及其应用学术会议
2012，功能材料与器件学报
2005，液晶与显示
来源 ：
物理实验
ISSN： 1005-4642
年份： 2005
期： 12
卷： 25
页码： 11-14
被引次数：
WoS核心集被引频次： 0
SCOPUS被引频次：
ESI高被引论文在榜： 0 展开所有
万方被引频次： 10
中文被引频次：
近30日浏览量： 3
归属院系：
材料与制造学部 本学院/部未明确归属的数据
全文获取
外部链接：
