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吉元 (吉元.) | 张隐奇 (张隐奇.) | 权雪玲 (权雪玲.) | 张虹 (张虹.) | 钟涛兴 (钟涛兴.)

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摘要:

在以电子束为基础的显微分析技术中,如SEM,EPMA及AES等,非导电样品在电子束辐照下产生的荷电效应会给观察和分析带来很大的困难,如造成图像畸变,严重时甚至无法成像,并给元素分析带来误差等.

关键词:

元素分析 图像畸变 基础 微分析技术 成像 样品 电子束辐照 荷电效应 误差 非导电材料

作者机构:

  • [ 1 ] [吉元]北京工业大学
  • [ 2 ] [张隐奇]北京工业大学
  • [ 3 ] [权雪玲]北京工业大学
  • [ 4 ] [张虹]北京工业大学
  • [ 5 ] [钟涛兴]北京工业大学

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来源 :

电子显微学报

ISSN: 1000-6281

年份: 2005

期: 4

卷: 24

页码: 376

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