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关键词:

Sb_2Te_3 体心立方 晶化过程 电子束诱导 硅掺杂 碲化锑

作者机构:

  • [ 1 ] 北京工业大学固体微结构与性能研究所
  • [ 2 ] 中国科学院上海微系统与结构研究所
  • [ 3 ] 中国科学院上海微系统与结构研究所 北京100022
  • [ 4 ] 北京100022
  • [ 5 ] 上海200030

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来源 :

电子显微学报

年份: 2006

期: S1

页码: 33-34

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