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[期刊论文]
激光在MEMS键合技术中的应用
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键合技术已经广泛地应用于微电子机械系统(MEMS)领域,但传统的键合技术由于其缺点,限制了其应用范围,而激光以其独特的优势在键合技术中得到了人们的重视.文章介绍了激光在键合技术中的应用及其原理,以及今后发展的方向.
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来源 ：
半导体光电
ISSN： 1001-5868
年份： 2004
期： 2
卷： 25
页码： 143-146
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