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[期刊论文]
非导电样品荷电效应的吸收电流评价方法
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在扫描电镜(SEM)中,通过记录和实时处理电子束辐照样品过程中产生的吸收电流La,评价非导电样品的荷电效应.对于非导电样品,La的绝对值很小,且变化幅度很大,这是电荷在非导电样品表面被捕获、积累和释放过程的直接反映.此外,La还可用来评价荷电补偿(改变环境压力、改变成像参数及对样品表面进行导电处理)的效果.
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来源 ：
电子显微学报
ISSN： 1000-6281
年份： 2004
期： 3
卷： 23
页码： 265-268
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