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李志国 (李志国.) | 李杰 (李杰.) | 郭春生 (郭春生.) | 程尧海 (程尧海.)

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摘要:

提出了一种新的微电子器件快速评价方法,具有快速、准确、成本低、能观察分析参数退化的全过程,能有效地分析器件的失效机理.它与常规方法不同,可对单样品求出不同失效阶段的失效激活能和寿命,根据其参数退化的温度范围可外推出单样品工作条件下的寿命.通过一定数量的对比试验,该方法与常规方法有可比性.

关键词:

失效机理 微电子器件 快速评价

作者机构:

  • [ 1 ] [李志国]北京工业大学
  • [ 2 ] [李杰]北京工业大学
  • [ 3 ] [郭春生]北京工业大学
  • [ 4 ] [程尧海]北京工业大学

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来源 :

电子产品可靠性与环境试验

ISSN: 1672-5468

年份: 2004

期: 4

页码: 8-11

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