高级检索
检索提示：高级检索多个条件检索时是按照顺序运算的：如 A或B与C 即:(A或B)与C
[期刊论文]
激光熔融键合在新型室温红外探测器的应用
作者：
收录：
摘要：
运用Nd:YAG激光在功率300W、光束运动速度为0.05m/s、光束直径为700μm的条件下能得到键合强度平均为9.3MPa的硅/玻璃熔融键合效果.该键合方法能进行选择区域键合,完全避免了由于键合过程中电场给超薄敏感可动微结构带来的畸变甚至失效,为新型室温红外探测器的研制奠定了良好的工艺基础.
关键词：
作者机构：
通讯作者信息：
电子邮件地址：
相关关键词：
相关文章：
2007，2007年中国机械工程学会年会
2012，中国光学学会2011年学术大会
2004，半导体学报
来源 ：
功能材料与器件学报
ISSN： 1007-4252
年份： 2004
期： 2
卷： 10
页码： 236-238
被引次数：
WoS核心集被引频次： 0
SCOPUS被引频次：
ESI高被引论文在榜： 0 展开所有
万方被引频次： 5
中文被引频次：
近30日浏览量： 1
归属院系：
信息学部
全文获取
外部链接：
