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[期刊论文]
等离子体表面处理对YBCO薄膜表面形貌的研究
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采用自制的等离子表面处理装置对MOD法制得YBCO薄膜进行表面处理.我们通过控制等离子处理时间,辉光电流,处理温度以及退火的工艺流程,发现YBCO超导薄膜表面成分,表面形貌发生的明显的改变.这种简易快速的方法将对YBCO薄膜表面质量提高起到有效的作用.
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来源 ：
功能材料
ISSN： 1001-9731
年份： 2004
期： z1
卷： 35
页码： 1338-1340
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