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新型室温微机械红外探测器原理与设计
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利用红外吸收气体直接吸收红外辐射的原理,设计出一种新型室温红外探测器.当密闭腔内气体吸收红外辐射后,腔内压强增大使弹性薄膜形变,由以弹性薄膜为可动极板的微电容结构的电容变化量,可测得红外辐射的大小.采用微机械技术制作的探测器,对8-14μm红外辐射有灵敏、快速的响应,灵敏度≥2×10-3 pF/mW.
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来源 ：
光电工程
ISSN： 1003-501X
年份： 2004
期： 2
卷： 31
页码： 34-36,43
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